離子植入氣體

Arsine (AsH3)

砷烷(砷化氫),吸附氣體。

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Phosphine (PH3)

磷烷(磷化氫),吸附氣體。

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11B Enriched Boron Trifluoride (11BF3)

三氟化硼(同位素),吸附氣體

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Germanium Tetrafluoride (GeF4)

四氟化鍺,吸附氣體。

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Enriched 72Germanium Tetrafluoride (72GeF4)

四氟化鍺(同位素),吸附氣體。

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11B Enriched Boron Trifluoride (11BF3) - SAG II

三氟化硼(同位素) - SAG II負壓鋼瓶

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Enriched 72Germanium Tetrafluoride (72GeF4) - SAG II

四氟化鍺(同位素) - SAG II負壓鋼瓶

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